-PVD 물리 증착법 : 시간이 적게 드는 특징이 있다. (ex : 열증착, E-beam 증착법)
-CVD 화학 증착법 : 오래 걸리지만 박막을 표면에 고르게 증착시킬 수 있다.
1. Thermal Evaporator의 구조 및 설명
Thermal Evaporator의 설명
Evaporation의 방법으로는 thermal evaporation과 e-beam evaporation 그리고 이 둘을 조합하는 방법
Vacuum)에서 이루어진다. ingot의 양에 증착되는 film의 양을 control 할 수 있으며 열전자를 사용하기 때문에 융점이 높은 물질도 쉽게 증착 할 수 있는 장점이 있다.
electron beam
To Vacuum Pumps
vapor stream
substrate holder
Three Ingot Feeders
Four Independent
ion Sources
To Vacuum Pumps
electron gun
그림2. E-beam장치의
Vacuum Pumps
vapor stream
substrate holder
Three Ingot Feeders
Four Independent
ion Sources
To Vacuum Pumps
electron gun
그림2. E-beam장치의 구조도
② Thermal Evaporator
각종 금속(Au, Al, Ti, Cr, In, Ni)과 유전체(SiO2)의 박 막을 기판 위에 증착할 수 있는 장비이다. 진공도는 Torr까지 얻을 수 있다. 박막 증착시에는 박막
1. Cleaning
- For elimination particle
2. Deposition
- Formation some material layer on the substrate
3. Photolithography
- Formation some pattern
4. Etching
- Elimination substrate or PR layer
Material to be evaporated is heated to
increase vapor pressure
In a reasonably high vacuum, material
atoms fly to a target and stick onto the
surface
Source materi
Vacuum and freeze drying processes are used for products with delicate flavours and textures like coffee granules, eggs, prawns and vegetables. The process involves freezing, and evaporating the ice away, under reduced pressure. It is an expensive process but gives a produce which is high in flavour and palatability. Milk may be dried on rollers or by spraying concentrated milk into hot air chamb